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英国 EDWARDS 爱德华(埃地沃兹)全系真空泵

英国 EDWARDS 爱德华(埃地沃兹)全系真空泵完整详细说明

同品牌的还有其他的产品、型号,如要询价请联系销售人员获取。

一、品牌整体概述

Edwards 爱德华总部位于英国伯吉斯山,全球真空设备龙头企业,深耕真空技术超百年,是半导体、科研实验室、光学镀膜、锂电、化工、医药、工业制造领域真空系统标杆供应商,产品覆盖干式无油真空泵、油封旋片真空泵、螺杆干泵、化学防腐干泵、机械增压泵、涡轮分子泵、超高真空捕获泵、成套真空机组,实现从大气压、粗真空、中真空、高真空至超高真空全压力区间全覆盖。全系整机英国 / 捷克原厂制造,拥有 CE、ATEX 防爆、RoHS、EHEDG、FDA 全套合规认证,分洁净无油干式高真空油封两大技术路线,适配无尘精密制程、高湿含水蒸气工况、强腐蚀危化工艺、超高真空科研设备,以低噪音、长寿命、智能变频、低运维成本、完善原厂备件体系为核心优势。同品牌的还有其他的产品、型号,如要询价请联系销售人员获取。

二、产品通用核心优势

  1. 双路线完整覆盖全工况

    干式涡旋 / 螺杆泵全程无油,输出洁净气源,适配半导体、医疗、食品无尘场景;油封双级旋片极限真空可达 10⁻³ mbar,适配冻干、镀膜、蒸馏等高真空需求。

  2. 优异水蒸气处理能力

    全系标配可调气镇阀,可抽取大量水汽,有效避免泵油乳化、干泵腔体结露,化工萃取、冷冻干燥、水浴抽滤工况适配性远超同类品牌。

  3. 低噪低振动,长寿命耐磨结构

    优化转子动平衡、一体式内置消音腔,主流机型噪音低至 48dB (A);核心摩擦副采用耐磨涂层、高强度轴承,常规工况大修周期 8000~30000 小时。

  4. 智能变频节能控制

    XDS、EOSi、iXM 半导体干泵搭载 VDS 变频调速,根据真空负荷自动调节转速,空载降功率运行,综合节电 30%~60%,适配工厂中央真空站长期连续运行。

  5. 防爆、防腐模块化定制

    提供 ATEX IIB T4 防爆机型、PFPE 全氟油耐腐蚀油封泵、CXS/CDX 化学防腐干泵,可输送有机溶剂、酸性尾气,满足化工危化车间安全规范。

  6. 成套一体化真空方案

    单泵、增压泵机组、分子泵真空小车、中央变频真空站成套出厂,支持 Modbus、Profinet 工业通讯对接自动化产线 BMS 系统。

三、主流产品系列、型号、实拍与参数详解

(一)干式涡旋无油真空泵(mXDS/nXDS/XDS,实验室 / 精密设备主力)

内部无润滑、无滑片磨损,纯涡旋压缩,洁净无油,替代油封泵、隔膜泵,适配实验室、电子、光学、小型镀膜。
  1. mXDS 微型便携款

    型号 mXDS3,抽速 3m³/h,极限真空 0.1mbar,整机<8kg,可水平 / 垂直安装,手持便携,小型分析仪、微型镀膜前级泵专用。

  2. nXDS 标准静音款

    主流型号 nXDS6i、nXDS10i、nXDS20i,抽速 6~20m³/h,极限真空 0.007mbar,噪音≤52dB (A),保养间隔 5 年,标配数字故障报警、远程通讯接口。

  3. XDS 工业大流量增强款

    XDS35i、XDS46i,峰值 35~40m³/h,极限真空 0.01mbar,增强型水汽处理,最大处理水汽 240g/h,大型腔体、真空包装、小型冻干设备标配。

(二)油封旋片真空泵(E2M/RV/nES,高真空工业通用)


油密封润滑,极限真空极低,分单级、双级两大系列,适合高真空、含水蒸气工艺。
  1. E2M 双级高真空旋片(实验室 / 冻干 / 镀膜标杆)

    型号 E2M28、E2M40、E2M80、E2M175、E2M275,抽速 42~350m³/h,无气镇极限真空 1×10⁻³ mbar;内置防回油阀,停机 0.4 秒切断油路,防止油雾倒灌污染腔体;E2M80T4 为 ATEX 防爆型号,适用于易燃易爆溶剂环境。

  2. RV 小型双级旋片(桌面实验室设备)

    RV3、RV5、RV8,单相 220V 小型机,体积紧凑,真空抽滤、凝胶干燥、小型蒸镀设备专用,油位视窗直观,换油维护简便。

  3. nES 单级大流量旋片(工业粗真空、真空炉)

    nES40、nES65、nES100、nES220,抽速 64~769m³/h,极限真空 0.5mbar,油雾分离系统耗油量极低,可搭配 EH 机械增压泵组成大流量真空机组。

(三)工业螺杆干式真空泵(EOSi/CXS/CDX,化工、锂电、中央真空站)

  1. EOSi 变频油螺杆泵

    内置变频驱动,智能按需调速,低噪音,大型工厂中央真空、挤出脱气、热处理真空炉配套,节能效果突出。

  2. CXS/CDX 化学防腐干式螺杆泵(防爆化工专用)

    锥形螺杆结构,全腔体防腐涂层,ATEX 防爆认证,可抽取强酸、有机溶剂、含粉尘工艺尾气,适配精细化工、制药、危废处理生产线。

  3. iXM/iXH 半导体专用干泵

    XCEDE 耐腐蚀技术,抗蚀刻粉尘、HF 酸性尾气,功耗降低 60%,光伏、锂电、半导体刻蚀 / CVD 工艺专用,连续 24 小时重载稳定运行。

(四)EH 机械增压罗茨泵(大流量真空机组配套)

型号 EH250、EH500、EH1200、EH4200,抽速 310~4985m³/h,液力耦合传动无需旁路保护,搭配 E2M/nES 前级泵,缩短大型真空炉、镀膜线抽气时间,大幅提升生产效率。

(五)涡轮分子泵与成套高真空机组(科研、光学、电子显微镜)

  1. nEXT 涡轮分子泵

    nEXT40、nEXT85、nEXT240,抽速 47~240L/s,极限真空 10⁻⁷~10⁻⁹ mbar,搭配涡旋 / 油封前级泵组成高真空系统。

  2. T-Station 一体化真空小车

    集成分子泵、前级涡旋泵、控制器、消音过滤,整机推车式,实验室电镜、质谱仪、光学蒸镀设备即插即用,无需单独搭建真空系统。

(六)超高真空捕获泵(离子泵、钛泵、非蒸发吸气泵)

极限真空可达 10⁻¹¹ mbar 以下,用于同步辐射、超高真空表面分析、航天科研设备。

(七)原厂配套全套备件

专用真空泵油、油雾分离器、进气粉尘滤芯、旋片、涡旋密封环、机械密封维修包、真空计、远程通讯模块、防爆电控箱、水汽过滤装置可单独采购更换。

四、通用核心技术参数汇总

  1. 真空压力区间

    干式涡旋:0.007~0.1mbar;单级油封:0.5mbar;双级 E2M:10⁻³ mbar;分子泵:10⁻⁷~10⁻⁹ mbar;捕获泵:10⁻¹¹ mbar

  2. 流量覆盖

    微型 mXDS 3m³/h → XDS 工业 40m³/h → E2M 油封 350m³/h → EH 增压泵近 5000m³/h

  3. 介质耐受

    标准矿物液压油适配;防腐款可处理弱酸、有机溶剂;气镇机型耐受高水蒸气分压;防爆款适配 Zone1 爆炸性气体环境

  4. 供电防护

    单相 220V 小型实验室泵;三相 380V 工业大功率机型;电机防护 IP54~IP55;潜热式冷却,连续 24 小时满载运行

  5. 环境温度

    运行环境 0~40℃,介质温度≤80℃,防腐定制款可耐受 120℃工艺尾气

五、全行业应用场景

  1. 高校 / 科研实验室

    mXDS/nXDS 干式涡旋、RV/E2M 油封泵、T-Station 分子泵,用于真空抽滤、冷冻干燥、电子显微镜、质谱仪、光学镀膜研发;无油机型避免样品污染。

  2. 半导体 / 光伏 / 锂电

    iXM/iXH 防腐干式螺杆泵、CXS 化学干泵,适配刻蚀、CVD、扩散、薄膜沉积工序,耐酸性工艺尾气、粉尘,低能耗降低产线运行成本。

  3. 医药食品行业

    XDS 无油涡旋泵、EHEDG 认证卫生泵,真空冷冻干燥、无菌包装、原料药萃取,洁净无油不污染药品、食品原料。

  4. 化工危化防爆车间

    E2M T4 防爆油封泵、CDX/CXS 防爆化学干泵,输送酒精、稀释剂、酸碱废液、有机溶剂,满足安监防爆验收标准。

  5. 工业制造通用场景

    nES/E2M 油封泵配套真空炉、注塑吸塑、挤出脱气;EOSi 变频螺杆干泵搭建整厂中央真空站;EH 增压泵用于大型镀膜生产线提速。

  6. 环保在线监测

    小型 mXDS 干式泵作为 CEMS 烟气采样泵,无油无雾干扰检测数据,抽取微量腐蚀性烟气稳定运行。

六、供货说明

mXDS3、nXDS10i、E2M28/E2M40 中小型标准机型常规原装现货;XDS46i 大流量涡旋、iXM 半导体干泵、EH 大型增压机组、ATEX 防爆定制泵、T-Station 分子泵车为英国原厂进口排产。
同品牌的还有其他的产品、型号,如要询价请联系销售人员获取。


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