


双路线完整覆盖全工况
干式涡旋 / 螺杆泵全程无油,输出洁净气源,适配半导体、医疗、食品无尘场景;油封双级旋片极限真空可达 10⁻³ mbar,适配冻干、镀膜、蒸馏等高真空需求。
优异水蒸气处理能力
全系标配可调气镇阀,可抽取大量水汽,有效避免泵油乳化、干泵腔体结露,化工萃取、冷冻干燥、水浴抽滤工况适配性远超同类品牌。
低噪低振动,长寿命耐磨结构
优化转子动平衡、一体式内置消音腔,主流机型噪音低至 48dB (A);核心摩擦副采用耐磨涂层、高强度轴承,常规工况大修周期 8000~30000 小时。
智能变频节能控制
XDS、EOSi、iXM 半导体干泵搭载 VDS 变频调速,根据真空负荷自动调节转速,空载降功率运行,综合节电 30%~60%,适配工厂中央真空站长期连续运行。
防爆、防腐模块化定制
提供 ATEX IIB T4 防爆机型、PFPE 全氟油耐腐蚀油封泵、CXS/CDX 化学防腐干泵,可输送有机溶剂、酸性尾气,满足化工危化车间安全规范。
成套一体化真空方案
单泵、增压泵机组、分子泵真空小车、中央变频真空站成套出厂,支持 Modbus、Profinet 工业通讯对接自动化产线 BMS 系统。
mXDS 微型便携款
型号 mXDS3,抽速 3m³/h,极限真空 0.1mbar,整机<8kg,可水平 / 垂直安装,手持便携,小型分析仪、微型镀膜前级泵专用。
nXDS 标准静音款
主流型号 nXDS6i、nXDS10i、nXDS20i,抽速 6~20m³/h,极限真空 0.007mbar,噪音≤52dB (A),保养间隔 5 年,标配数字故障报警、远程通讯接口。
XDS 工业大流量增强款
XDS35i、XDS46i,峰值 35~40m³/h,极限真空 0.01mbar,增强型水汽处理,最大处理水汽 240g/h,大型腔体、真空包装、小型冻干设备标配。
E2M 双级高真空旋片(实验室 / 冻干 / 镀膜标杆)
型号 E2M28、E2M40、E2M80、E2M175、E2M275,抽速 42~350m³/h,无气镇极限真空 1×10⁻³ mbar;内置防回油阀,停机 0.4 秒切断油路,防止油雾倒灌污染腔体;E2M80T4 为 ATEX 防爆型号,适用于易燃易爆溶剂环境。
RV 小型双级旋片(桌面实验室设备)
RV3、RV5、RV8,单相 220V 小型机,体积紧凑,真空抽滤、凝胶干燥、小型蒸镀设备专用,油位视窗直观,换油维护简便。
nES 单级大流量旋片(工业粗真空、真空炉)
nES40、nES65、nES100、nES220,抽速 64~769m³/h,极限真空 0.5mbar,油雾分离系统耗油量极低,可搭配 EH 机械增压泵组成大流量真空机组。
EOSi 变频油螺杆泵
内置变频驱动,智能按需调速,低噪音,大型工厂中央真空、挤出脱气、热处理真空炉配套,节能效果突出。
CXS/CDX 化学防腐干式螺杆泵(防爆化工专用)
锥形螺杆结构,全腔体防腐涂层,ATEX 防爆认证,可抽取强酸、有机溶剂、含粉尘工艺尾气,适配精细化工、制药、危废处理生产线。
iXM/iXH 半导体专用干泵
XCEDE 耐腐蚀技术,抗蚀刻粉尘、HF 酸性尾气,功耗降低 60%,光伏、锂电、半导体刻蚀 / CVD 工艺专用,连续 24 小时重载稳定运行。
nEXT 涡轮分子泵
nEXT40、nEXT85、nEXT240,抽速 47~240L/s,极限真空 10⁻⁷~10⁻⁹ mbar,搭配涡旋 / 油封前级泵组成高真空系统。
T-Station 一体化真空小车
集成分子泵、前级涡旋泵、控制器、消音过滤,整机推车式,实验室电镜、质谱仪、光学蒸镀设备即插即用,无需单独搭建真空系统。
真空压力区间
干式涡旋:0.007~0.1mbar;单级油封:0.5mbar;双级 E2M:10⁻³ mbar;分子泵:10⁻⁷~10⁻⁹ mbar;捕获泵:10⁻¹¹ mbar
流量覆盖
微型 mXDS 3m³/h → XDS 工业 40m³/h → E2M 油封 350m³/h → EH 增压泵近 5000m³/h
介质耐受
标准矿物液压油适配;防腐款可处理弱酸、有机溶剂;气镇机型耐受高水蒸气分压;防爆款适配 Zone1 爆炸性气体环境
供电防护
单相 220V 小型实验室泵;三相 380V 工业大功率机型;电机防护 IP54~IP55;潜热式冷却,连续 24 小时满载运行
环境温度
运行环境 0~40℃,介质温度≤80℃,防腐定制款可耐受 120℃工艺尾气
高校 / 科研实验室
mXDS/nXDS 干式涡旋、RV/E2M 油封泵、T-Station 分子泵,用于真空抽滤、冷冻干燥、电子显微镜、质谱仪、光学镀膜研发;无油机型避免样品污染。
半导体 / 光伏 / 锂电
iXM/iXH 防腐干式螺杆泵、CXS 化学干泵,适配刻蚀、CVD、扩散、薄膜沉积工序,耐酸性工艺尾气、粉尘,低能耗降低产线运行成本。
医药食品行业
XDS 无油涡旋泵、EHEDG 认证卫生泵,真空冷冻干燥、无菌包装、原料药萃取,洁净无油不污染药品、食品原料。
化工危化防爆车间
E2M T4 防爆油封泵、CDX/CXS 防爆化学干泵,输送酒精、稀释剂、酸碱废液、有机溶剂,满足安监防爆验收标准。
工业制造通用场景
nES/E2M 油封泵配套真空炉、注塑吸塑、挤出脱气;EOSi 变频螺杆干泵搭建整厂中央真空站;EH 增压泵用于大型镀膜生产线提速。
环保在线监测
小型 mXDS 干式泵作为 CEMS 烟气采样泵,无油无雾干扰检测数据,抽取微量腐蚀性烟气稳定运行。
热线电话:
13557103449
公司电话:
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