









全真空压力覆盖
单品牌可一站式匹配粗真空(10⁻¹Pa)、中真空、高真空(10⁻⁷Pa)、超高真空(10⁻⁹Pa)工艺,自由组合泵组搭建真空系统。
两大路线完整布局
油式旋片泵性价比高、极限真空稳定;干式无油泵无油污染,适配洁净、医药、半导体高纯工艺,防腐定制款可耐受酸碱、卤素腐蚀性尾气。
低噪低振动、长寿命
精密动平衡转子、内置消音结构,主流机型噪音≤65dB;核心部件耐磨涂层处理,平均无故障运行时长可达 8000 小时以上。
模块化智能选配
支持变频节能模块 ECO-SHOCK、远程通讯、防腐涂层、防爆电机、水气分离装置、真空计成套选配,适配自动化产线智能监控。
完善原厂备件体系
专用真空泵油、滤芯、隔膜、转子、密封套件、冷却组件独立拆分供应,维修更换成本低。
VDN 系列双级油旋片(实验室 / 小型设备标配)
主流型号:VDN301、VDN401、VDN602、VDN902
参数:抽速 30~90m³/h,极限真空 0.67Pa,低震动低噪音,小型镀膜机、冷冻干燥机常用。
GLD-N 系列双级通用油旋片
主流型号:GLD-N051、GLD-N137、GLD-N202、GLD-N280
优势:强制供油、散热优秀,可 24h 连续运转,半导体镀膜、真空炉配套。
VSN 单级油旋片(大流量工业)
主流型号:VSN1501、VSN2401、VSN6501、VSN7501
抽速 150~750m³/h,大型真空包装、挤出脱气、大型真空腔体使用。
PKS 大型活塞油式泵(重型重工)
型号 PKS-030,超大抽速,冶金热处理、大型真空熔炼设备专用。
DA 系列:DA-41D、DA-30D,标准无油膜片,抽速 20~260L/min,小型真空吸附、分析仪器。
DTC 系列:DTC-22,气路 PTFE 防腐材质,抽取有机溶剂、腐蚀性烟气,实验室 CEMS 采样。
DAP 微型泵:DAP-12,6~18L/min,便携式检测仪、微型设备负压供给。
LS 标准螺杆:LS120A、LS300A,标配消音器,内置 ECO-SHOCK 节能模块,噪音低至 61dB。
HR 高温防腐螺杆:适配 CVD、刻蚀高温尾气,耐升华粉尘。
MS 防腐螺杆:转子氮化硅陶瓷涂层,耐受 HF、HCl 强腐蚀,光伏、半导体刻蚀工序专用。
真空耗材:ULVAC 专用真空泵油、滤芯、PTFE 隔膜、密封 O 型圈;
功能组件:ECO-SHOCK 节能模块、NWS 油水分离器、NOC 油净化装置;
监测设备:Gatch 系列真空计、压力传感器、远程控制模块;
成套机组:VPC 小型真空排气单元、一体化真空站。
真空区间:
油旋片:0.67Pa;涡旋干泵<0.1Pa;螺杆 / 罗茨干泵 1Pa;分子泵 10⁻⁷Pa;低温泵 10⁻⁹Pa
供电:单相 220V、三相 380V 工业电机,可选防爆电机;
介质适配:普通空气、有机溶剂、酸碱腐蚀性气体、含粉尘工艺尾气;
防护等级:标准 IP54,工业防腐机型 IP65;
运行温度:标准 0~40℃,HR 高温干泵可处理 200℃工艺尾气。
半导体 / 光伏锂电:LS/MS 防腐螺杆干泵、LR 多级罗茨干泵,刻蚀、CVD、扩散、镀膜工序;
光学镀膜:GLD 油旋片 + UTM 分子泵 / CRYO 低温泵,镜头、滤光片、光学薄膜蒸镀;
实验室科研:DA/DTC 膜片泵、VDN 小型油旋片,蒸馏、气体采样、理化分析仪器;
医药食品:DIS 无油涡旋干泵、DOP 活塞泵,真空冷冻干燥、无菌真空包装;
通用工业:VSN 大流量油旋片用于真空成型、挤出脱气、热处理真空炉;
环保监测:DTC 防腐膜片泵配套 CEMS 烟气在线采样设备;
高端精密仪器:涡轮分子泵搭配电镜、质谱仪、表面分析设备。
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公司电话:
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